該設(shè)備能自動完成樣片外緣輪廓的高精度對準(zhǔn),將掩模圖案套刻在樣片中心,并能兼容傳統(tǒng)光刻工藝中的圖層間套刻,可用于溫度傳感器、壓力傳感器、電容傳感器、聲表器件等微納器件的生產(chǎn)。
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